那为什么8&12寸硅片只有一个notch？

知识星球（星球名：芯片制造与封测社区，星球号：63559049）里的学员问：上期种说2，4，6寸硅片都有平边，那为什么8&12寸硅片只有一个notch？为什么不能像小尺寸晶圆一样设置notch呢？

上期的文章介绍了2，4，6小尺寸硅片的平边（flat），见文章：

4&6寸硅片为什么要留平边（flat）？什么是notch？

硅片的notch是一个用于标识晶圆方向的物理切口，通常是V形或U形，位于硅片的边缘底部，位置精确且易于机台读取。这种特征在8&12&18inch的晶圆中比较常见，用于替代早期较小尺寸晶圆上使用的平边（flat）。

notch的尺寸？

与4&6寸不同的是，8&12只有一个notch，且notch的尺寸是一样的，为：1.00 mm +0.25 mm -0.00 mm。

notch是如何制作的？

之前我们介绍过，4&6inch在硅锭被拉出来之后，首尾去除，再用金刚石锯切割出flat。同理，在8寸，12寸中，在该处使用金刚石盘或激光来制作切口。之后还要用砂轮进行倒角处理，保证没有毛刺等。为什么选用notch？1，Notch相比于平边占用的面积更小，在高度密集的集成电路制造中，可以极大地提高产量和降低成本。

2，作为标识和定向，没有必要牺牲如此大的面积做平边。notch足够满足标识与定向功能。

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